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离子束研磨增强电子通道衬度
信息来源:admin    更新时间:2013-12-10    浏览次数:1771次


        扫描电子显微技术中电子通道(ECC)成像的质量,取决于材料表面晶格的完整性。经机械研磨抛光的金属与合金样品表面会形成数微米厚的变形层,变形层中高密度位错和严重畸变晶格对电子的漫散射强烈,无法形成有效的通道衬度像。利用Leica RS101离子束精密刻蚀设备,以5KeV,2.0mA经2小时获得的纯铜表面可以清晰显示出因电子通道衬度形成的图像,该技术也适用于多相与复合材料,较电解抛光方法有更好的材料适用性。

 


ECC images of pure copper were obtained with enhanced dislocation and interface contrast by proper ion milling process.