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> 扫描技术组

扫描技术组装备有两台双束聚焦离子束系统(FIB),7台扫描电镜(SEM)和一台二次离子质谱仪(SIMS),并配有功能完善的微操作、原位测试和综合分析的附件。可对材料样品进行形貌观察和相应微区表面形貌成像、元素成份分析、电子背散射衍射取向测量和电子通道衬度像,通过SIMS实现质谱分析、深度剖析以及面分布分析,测试包括氢、氦在内的全部元素及其同位素;能分析有机化合物,通过分子离子峰可得到准确的分子量信息。结合FIB可以实现离子束进行微束加工。主要设备有:FEI Nova 200 Nanolab聚焦离子束系统;FEI Helios 650 Nanolab聚焦离子束系统;Ion-Tof SIMS V二次离子质谱仪;Zeiss Supra55s高分辨场发射扫描电镜;Zeiss Supra35高分辨场发射扫描电镜;FEI NanoSEM450高分辨场发射扫描电镜;FEI Nano SEM 430高分辨场发射扫描电镜(两台);FEI Quanta600扫描电镜;JCambridge S360扫描电镜,以及X-射线能谱仪(EDS)和电子背散射谱仪等综合分析附件。