本研究部围绕国家重大布局和第三代半导体产业应用需求，聚焦高质量氮化镓、氮化铝等材料的科学问题和应用基础研究，开展氮化物单晶材料的生长和装备工艺技术研究，发展同质外延技术、超高分辨显微分析技术等。

部主任  徐科