本发明涉及一种制备二氧化钛单晶纳米材料(纳米线､单晶纳米片和多晶薄膜)的方法,属于纳米材料制备和半导体器件应用技术领域｡传统的湿化学方法因反应组元较多,易引入杂质元素,制备过程复杂,可控性差,且存在前驱物和附属产物的污染问题｡本发明方法以钛基板为原材料,在表面负载金属催化剂,在惰性气体气氛中升温加热,通过调整加热温度,可控地制备出不同形貌尺寸的二氧化钛纳米线､纳米片以及薄膜材料｡特点是利用固相生长的方法,制备过程简单､可控性强､产量大､无污染,为二氧化钛纳米材料的制备和微型器件的集成提供了一种切实可行的方案｡