本实用新型涉及激光微区加工领域和电镜原位样品制备领域，具体涉及一种利用经汇聚的激光对电镜样品进行精细加工成型的装置。该装置包括飞秒激光器及汇聚扫描系统、样品台机械数控移动系统、共轴显微观察定位系统、计算机、减震系统及防护系统。利用上述装置可以快速、方便地使用飞秒激光对各种电镜样品，如：金属片、氧化铝陶瓷块、透明石英玻璃等，进行数控切割、打孔等精细加工。从而，通过本实用新型可以制备特定形状、缺口的原位电镜样品，结合电子显微镜原位观察技术，即可对某些特殊组织与结构进行力学、电学和腐蚀行为等的原位观察研究，具有加工面积广、精度高、无热影响区和无污染等优点。