本实用新型公开了一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,属于微电感器件技术领域｡该电感包括薄膜磁芯和线圈,所述薄膜磁芯为铁镍多元合金薄膜,其中:所述薄膜磁芯作为线圈的内芯,即线圈螺旋缠绕于薄膜磁芯之外;或者,所述薄膜磁芯作为外芯,即线圈包裹于薄膜磁芯之内｡本实用新型通过采用铁镍多元合金薄膜磁芯材料,可实现各向异性､矫顽力小､电阻率高､磁感应强度高的性能,从而使电感器的损耗减少､工作频率和品质因子提高,在微电子器件领域有良好的适用性｡