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一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置(ZL201720439924.0)

本实用新型涉及金刚石膜生长领域,尤其涉及一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置。该装置包括:底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座,具体结构如下:主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合,主齿轮上方依次为发条组件、旋钮,发条组件上下分别与旋钮、主齿轮轴连接;副齿轮上方依次为刀具座、刀具,刀具座上下分别与刀具、副齿轮连接。本实用新型结构简单、成本低廉,制备出的金刚石刀具涂层厚度均匀、金刚石薄膜质量高

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陈红梅    23978202
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