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透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置(ZL201821995983.7)

本实用新型涉及材料测试领域,具体为一种透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置。该装置包括样品杆、转接密封带法兰套管、密封法兰及波纹管套管和X-Y-Z三维滑台及支架,转接密封带法兰套管固定在样品杆的尾端,其内壁与样品杆间使用密封圈进行真空密封;转接密封带法兰套管置于波纹管套管内,其外壁使用密封圈与波纹管套管内壁实现真空密封;X-Y-Z三维滑台通过滑台支架固定在密封法兰和波纹管套管上,实现样品的三维平动和绕杆体轴线360°旋转。本实用新型极大地方便样品的加工和显微结构分析,提高工作效率,广泛适用于各种型号的透射电镜、扫描电镜和聚焦离子束电镜。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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