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基于Pt纳米颗粒修饰GaN纳米线的紫外光电探测器及其制造方法(ZL201611068958.X)

本发明涉及一种基于GaN纳米材料的紫外光电探测器及其制造方法,具体是指一种基于Pt纳米颗粒修饰GaN纳米线的紫外光电探测器及其制造方法。本发明是通过化学气相沉积技术在蓝宝石衬底上生长GaN纳米线阵列,然后在GaN纳米线阵列上沉积一层Pt纳米颗粒,最后利用光刻技术在单根沉积有Pt纳米颗粒的GaN纳米线两端沉积一层金属电极。紫外探测器的光电性能测试结果显示,相比于没有Pt纳米颗粒修饰的GaN纳米线紫外光电探测器,有Pt纳米颗粒修饰的GaN纳米线紫外光电探测器显示出更大的光电流,更高的光响应度,外量子效率,开/关比,以及更快的开光速度和更好的光电流稳定性,具有很好的潜在应用。另外,该器件制造工艺简单,重复性强,工艺可控性强,成本低。

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陈红梅    23978202
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