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基于单根孪晶结构GaN纳米线的紫外光电探测器及制备方法(ZL201610818729.9)

本发明属于光电探测器领域,特别是指一种基于单根孪晶结构GaN纳米线的紫外光电探测器及其制备方法。该探测器自下而上依次为Si衬底,SiO2绝缘层,绝缘层上的单根孪晶结构GaN纳米线,覆盖在单根孪晶结构GaN纳米线两端的金属电极。本发明中孪晶结构GaN纳米线具有很高的比表面积,并且孪晶结构可以有效实现光生载流子的分离以及快速输运,具有很高的光响应度,外量子效率和光电流增益。更重要的是,该紫外探测器对UV-A波段的紫外光有着非常高的选择性。器件制作工艺简单,成本低,灵敏度高,性能稳定。

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陈红梅    23978202
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