本发明涉及功能薄膜材料领域，具体为一种纳米尺度多孔硒（Se）/碲（Te）化物薄膜材料及其制备方法，该多孔薄膜材料作为微型热电能源器件、微型传感器等方面的应用。该多孔薄膜材料为均匀沉积在金属、半导体或绝缘体光滑基底表面上的硒/碲化物薄膜层，薄膜中含有高密度均匀分布的纳米尺度孔隙，纳米孔隙呈现为规则的几何多面体结构；孔隙表面为亚纳米级粗糙度，且孔隙与薄膜基体间存在晶体学取向关系。利用Se/Te元素低熔点、易扩散和聚集长大的特性，合成纳米尺度多孔结构。在薄膜面外方向，Te（Se）元素含量呈过饱和连续递增分布，通过退火处理方式成功制备纳米孔隙含量和大小分布连续可调控的Bi2Te3（Sb2Se3）薄膜。