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一种用于离心制膜的成膜液体注入装置(ZL201921120884.9)

本实用新型涉及薄膜材料和器件制造领域,具体是一种用于离心制膜设备的成膜液注入装置。该装置包括:旋转滚筒、成膜基体、针头、针头沿滚筒旋转轴向移动装置、针头注入角度调整装置、针头伸缩装置、成膜液增压组件,旋转滚筒内表面设置成膜基体,针头沿滚筒旋转轴向移动装置上安装滑杆一,滑杆一与针头沿滚筒旋转轴向移动装置呈滑动配合,针头注入角度调整装置的一端安装在滑杆一尾端,针头注入角度调整装置的另一端安装针头伸缩装置,针头伸缩装置上安装针头,针头通过管路连接成膜液增压组件。本实用新型装置主要用于将不同物质的成膜液以液柱的形式注入到旋转基体表面,实现薄膜结构的精确控制制备。

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