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浮动催化剂化学气相沉积法制备多壁碳纳米管膜的装置(ZL202120212810.9)

本实用新型涉及碳纳米管膜的制备与收集技术,具体为一种浮动催化剂化学气相沉积法制备多壁碳纳米管膜的装置。该装置包括:催化剂注入装置、浮动催化剂化学气相沉积反应腔、电刷吹气装置、成膜机,浮动催化剂化学气相沉积反应腔穿设于管式炉,浮动催化剂化学气相沉积反应腔内设置电刷吹气装置,电刷吹气装置为电刷主杆上均匀分布毛细管构成,均匀分布的毛细管形成毛细管刷,电刷主杆、毛细管均为管状通孔结构,毛细管与电刷主杆相连通,电刷主杆通过线路与内置有马达的电刷控制器连接。本实用新型克服了当前浮动催化剂化学气相沉积法生长的多壁碳纳米管无法浮动流出恒温反应区的问题,突破了本领域在该方面的技术瓶颈。

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